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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
박창원 (한양대학교 신소재공학과) 이영중 (한양대학교 신소재공학과) 김대건 (한양대학교 신소재공학과) 김영도 (한양대학교 신소재공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2009년도 춘계학술발표대회
발행연도
2009.1
수록면
532 - 532 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

화학 증기 수송법에 의해 증착된 금속 Mo 박막의 전기적 특성
박창원 ,  이영중 ,  김대건 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 2009.01 학술대회자료
화학증기수송법을 이용한 금속 몰리브덴 박막 증착
박창원 ,  이영중 ,  김대건 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 2009.01 학술대회자료

초록· 키워드

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몰리브덴(Mo)은 우수한 전기전도도와 고온 안정성으로 인해 전자부품의 전극으로 널리 사용되고, 미래 에너지인 태양전지 분야에서 CIS계 화합물박막태양전지의 후면전극으로 이용되고 있는 재료로서 현재 증착 방법으로는 D.C. sputtering이 가장 널리 이용되고 있다. 또한 $MoO_3$ 분말이 Mo 분말로 수소 환원되는 과정은 $MoO_3+H_2{\rightarrow}MoO_2+H_2O$ 와 $MoO_2+2H_2{\rightarrow}Mo+2H_2O$의 2단계를 통해서 수행되며 이중 첫 번째 단계에서 $MoO_3(OH)_2$라는 기상을 통해 지배적으로 일어난다고 알려져 있고 이를 화학증기수송(Chemical vapor transport : CVT)이라고 한다. 본 연구에서는 $MoO_3$분말의 수소 환원 과정 중에 발생하는 기상인 $MoO_3(OH)_2$을 이용하여 몰리브덴 옥사이드 박막을 증착하고 이를 다시 수소분위기에서 수소 환원하는 증착 방법을 통해 균일하고 부착성이 우수한 Mo 박막을 제조하고자 하였다. 기판으로 사용된 Glass를 $MoO_3$ 분말 위에 홀더를 이용하여 $MoO_2$ 박막을 증착하고 이를 다시 수소분위기에서의 수소 환원을 통해 Mo 박막을 성공적으로 제조하였다. 제조된 Mo박막의 결정구조 및 미세조직을 XRD 와 SEM을 통해 분석하였다.
#몰리브덴 #태양전지 #화학증기수송법

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