Plasma-Enhanced MOCVD법에 의해 MOCVD-Pt 위에 제조된 강 유전체 Sr${Bi}_{2}{Ta}_{2}{O}_{9}$ 박막의 특성

성낙진 ,  최은석 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

MOCVD에 의한 신기능소자 , 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

Mocvd 에 의한 신기능소자 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구

최정환 ,  박상기 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

MOCVD법을 이용한 SnO₂(:F) 박막의 제조

이상운 ,  배정운 ,  송국현 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

MOCVD법으로 다양한 기판위에 성장한 ZnO 박막의 광학적, 구조적 특성 평가

공보현 ,  김동찬 ,  한원석 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Al₂O₃ 기판 위에 제작된 Ta/Ta₂O₅/Ta 박막 커패시터의 전기적 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

B-TA 기술

이창범

한국통신학회 워크샵

1995 .01

MOCVD 공정에서 화학반응이 장치 내부 열유동에 미치는 영향

박신 ,  김경진 ,  곽호상

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2016 .11

Film Properties of Amorphous TaN and Ta - ( Si ) - N Deposited from Remote Plasma MOCVD

한창희 ,  노경봉 ,  백수현 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

MOCVD법으로 버퍼층을 활용한 ZnO 박막 제조

박재영 ,  이동주 ,  윤영수 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

O₃-MOCVD로 제조된 산화주석박막

김용준 ,  배정운 ,  송국현 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

MOCVD 법에 의해 증착된 TiO2 박막의 결정구조 및 광학적 특성 ( Structural and Optical Properties of TiO2 Films Deposited by MOCVD )

장동훈 ,  강성준 ,  윤영섭

전자공학회논문지-D

1997 .06

MOCVD로 성장한 ZnO 박막의 $O_2$ 유량 변화에 따른 광특성과 미세구조 분석

한원석 ,  공보현 ,  김동찬 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

열처리 온도에 따른 $Ta_2O_5$ 박막의 특성변화

강필규 ,  진정근 ,  노대호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

고유전체 박막을 위한 MOCVD를 이용한 Pt Thin Film Electrode

권주홍 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

MOCVD법에 의한 AI 박막의 증착속도 분포에 대한 수치모사

정원영 ,  김도현

한국재료학회지

1996 .01

MOCVD 법에 의한 Al 박막의 증착 속도 및 증착 두께 분포

정원영 ,  천성순 ,  유형준 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

B-TA 기술 개발

전경표

한국통신학회 워크샵

1996 .01