256M DRAM 급 이상의 Capacitor 유전체용 PLT 박막의 제조 및 특성평가

이승석; 김호기

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이승석 (한국과학기술원 무기재료공학과) 김호기 (한국과학기술원 무기재료공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1994년도 춘계 학술발표 강연 및 논문 개요집

발행연도: 1994.1

수록면: 108 - 108 (1page)

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