CVD Cu의 핵생성 및 성장에 관한 연구

한성희 ,  이종무

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

CVD 기술동향

송주호

전자공학회지

2001 .08

CVD-Cu film의 특성에 증착온도가 미치는 영향

민재식 ,  이원준 ,  라사균 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

ULSI를 위한 금속박막 CVD 기술

민석기 ,  김용태

전자공학회지

1990 .08

CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

고주파플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드상 탄소박막의 합성

朴相鉉 ,  李德出

전기학회논문지

1990 .10

Laser CVD에 의한 Ⅲ-V 화합물 반도체 표면의 불활성화 ( Passivation of Ⅲ-V compound semiconductor surface by laser CVD )

이한신 ,  이계신 ,  조대훈 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

Laser CVD에 의한 Ⅲ-Ⅴ 화합물 반도체 표면의 불활성화

이한신 ,  이계신 ,  조태훈 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

Laser Crystallization of a-Si:H films prepared at Ultra Low Temperature( $ < 150^{\circ}C$) by Catalytic CVD

Lee ,  Sung-Hyun ,  Hong 외 20명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

Laser CVD법에 의한 Ⅲ-Ⅴ화합물 반도체 표면의 불활성화

이한신 ,  이계신 ,  조태훈 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

감광성 유기금속화합물 및 합금의 제조와 응용에 대한 연구

변영훈 ,  윤병기 ,  손해정 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Polyimide 기판을 이용한 CVD-Cu 박막 형성기술

조남인 ,  임종설 ,  설용태

한국산학기술학회 논문지

2000 .06

구리 배선공정에서의 CVD TaN 확산방지막에 관한 연구

Im ,  Se-Joon ,  Kim 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Cu 배선공정에서 CVD-TiN 박막의 확산방지막 특성

정득석 ,  박기철 ,  송병창 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

CVD 다이아몬드 박막 기판의 방열 특성

임종환 ,  강찬형

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

RP-CVD에 의한 비정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of a-Si : H films deposited by a remote plasma CVD )

황정태 ,  정창영 ,  정관수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

수면호흡장애 환자의 인공지능 기반 심혈관질환 예측 모델

박종욱 ,  류지승 ,  강승영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2020 .08