Low-temperature epitaxial Ge layer growth on Si(100) substrate

신건욱 ,  김현우 ,  윤의준

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Fabrication of Low Temperature Si Pn Diode by Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

황기현 ,  박진원 ,  김진양 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

초고진공 전자 사이클로트론 공명 화학 기상증착장치의 제작과 수소 플라즈마를 이용한 실리콘 기판 표면 세정화 ( Manufacturing of Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition Reactor and Si Wafer Surface Cleaning by Hydrogen Plasma )

황석희 ,  태흥식 ,  황기웅

전자공학회논문지-A

1994 .04

축적된 Ge층이 Si₁-ₓGeₓ/Si의 산화막 성장에 미치는 영향

신창호 ,  강대석 ,  박재우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

In Situ Boron Doping of Si Epitaxial Layers by Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

박진원 ,  황기현 ,  주성재 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

PAE에 의한 GaAs / Ge / Si구조를 의한 Si기판위의 Ge 결정성장 ( Ge crystal growth on Si substrate for GaAs / Ge / Si structure by Plasma Assisted Epitaxy )

김성수 ,  박상준 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

GaAs/Ge/Si 구조를 위하여 PAE법을 이용한 Si 기판위에 Ge 결정성장 ( Ge Crystal Growth on Si Substrate for GaAs/Ge/Si Structure by Plasma-Asisted Epitaxy )

박상준 ,  박명기 ,  최시영

전자공학회논문지

1989 .11

$SiO_2$ 위에 LP-CVD로 증착한 비정질 $Si/Si_{0.69}Ge_{0.31}, Si_{0.69}Ge_{0.31}Si$ 및 Si의 결정화 거동

김태훈 ,  류명관 ,  김진원 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Hydrogen Effects on Heteroepitaxial Growth of Ge Films on Si ( 111 ) Surfaces by Solid Phase Epitaxy

H. Ikeda ,  A. Muto ,  M. Okada 외 4명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Prevention of degradation in poly $Si_{1-x}Ge_x$/high K structure by controlling Ge content in poly $Si_{1-x}Ge_x$ films

Ko ,  D.H. ,  Kang 외 13명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2002 .01

이온선보조증착에 의한 Si(100)상에서 정합성장된 $Si_{1-x}Ge_{x}$층의 성장방식

박상욱 ,  심재엽 ,  한희돈 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Metal Organic Chemical Vapor Deposition을 이용한 Ge 전구체의 증착특성연구

김봉준 ,  김선희 ,  이준기

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Si와 Ge의 초정밀 절삭특성

원종호 ,  박상진 ,  안병민 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2000 .05

Role of a Surfactant in Ge / Si Growth

Chan Wuk Oh ,  Eun Ja Kim ,  Young Hee Lee 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Si₁ₓ-Geₓ/Si 구조에서의 Hall 이동도

강대석 ,  신창호 ,  박재우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

산화막 형성과 열처리를 이용한 $Si_{0.77}Ge_{0.23}$ 박막의 격자 이완

김현우 ,  홍석원 ,  배덕규 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

Si 기판에서의 광소자 응용을 위한 Ge 박막의 Transfer 기술개발

안창근 ,  조원주 ,  임기주 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

플라즈마를 이용한 Si 기판위에 Ge 결정성장 ( Plasma-assisted epitaxial growth of Ge layer on Si ( 100 ) in H2 Plasma )

박명기 ,  박상준 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1988 .11

MBE 방법으로 증착된 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막의 응력완화

임정욱 ,  강상원 ,  천성순 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

이온선보조증착에 의한 Si(100)기판에 정합성장된 $Si_{0.5}Ge_{0.5}$박막의 성장방식

박상욱 ,  백홍구

한국재료학회지

1995 .01