DUV Iithography용 새로운 반사방지막 연구 ( Study on Characteristics of Ge Based ARL for DUV Lithography )

김용범 ,  김동완 ,  강호영 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1997 .01

DUV와 열의 하이브리드 저온 용액공정에 의해 형성된 Al2O3 게이트 절연막 연구

장현규 ,  김원근 ,  오민석 외 1명

전기전자재료학회논문지

2020 .01

Chemically Amplified Silicon-containing Positive Photoresists for DUV Lithography

박상진 ,  이해원

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1998 .10

0.12 mm Optical Lithography Performances Using an Alternating DUV Phase Shift Mask

Y. T ,  ouille ,  N. Buffet 외 5명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Negative Molecular Resists with Calixarene Derivatives for DUV Lithography

박지영 ,  김진백 ,  구세진

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .04

Improved Electron-Beam / DUV Intra-Level Mix-and-Match as a Production Viable Lithography with 100-nm Resolution

S. Magoshi ,  H. Niiyama ,  S. Sato 외 10명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

DUV레이저를 이용한 고감도 검사 설비의 Defect Error 현상에 대한 연구

강성호 ,  이용대 ,  임권 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

La 초기 화합물과 기판의 형태가 (Pb_0.92La_0.05)TiO₃ 박막의 치밀화 거동에 미치는 영향

박상면

한국표면공학회지

2000 .04

상부전극에 따른 (Sr_0.85Ca_0.15)TiO₃ 박막의 전기적 특성

曺春男 ,  金鎭士 ,  申喆基 외 4명

전기학회논문지 C

2000 .02

무연 BaTiO-(BiK)TiO PTCR 세라믹과 PTCR 특성에 미치는 NbO의 효과

정영훈 ,  박용준 ,  이미재 외 4명

한국재료학회지

2008 .01

Thermal Cycling Test for Eco-friendly PTC Thermistor in Ba_0.97(Bi_0.5Na_0.5)_0.03TiO₃ System

최형석

한국신뢰성학회 학술대회논문집

2015 .05

Nanocomposite of Polybenzoxazine and (Ba_0.7Sr_0.3)TiO₃

Si ,  ipetch Kaewwata ,  Hatsuo Ishida 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .10

캐패시터용 (Ba_1-xSr_x)TiO₃ 박막의 제조 및 특성

蘇秉文 ,  宋敏種 ,  李愚春

전기학회논문지 P

2000 .04

DRAM용 (Ba_0.7Sr_0.3)TiO₃ 박막의 전기적 특성

金庚德 ,  鄭長鎬 ,  裵善基 외 1명

전기학회논문지

1998 .10

비정질 TiO$_2$ 박막의 결정화

홍성민 ,  이필홍 ,  고경현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

(Sr_1-xCa_x)TiO₃ 세라믹 박막의 미세구조 및 특성

金鎭士 ,  李準雄

전기학회논문지 C

2001 .10

(Sr_1-xCa_x)TiO₃ 세라믹 박막의 제조 및 유전특성

김진사 ,  조춘남 ,  오용철 외 6명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

(Sr_0.9Ca_0.1) TiO₃ 세라믹 박막의 열처리온도에 따른 특성

蘇秉文 ,  曺春男 ,  申喆基 외 2명

전기학회논문지 C

2002 .11

DC 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 광촉매박막(TiO₂, TiO-N)제조 및 오염물질 제거에 관한 연구

정원상 ,  박상원

대한환경공학회지

2005 .01

Rf-magnetron Sputtering 방법으로 증착한 Ba_0.7Sr_0.3TiO₃ 박막의 전기적 특성 평가

이승훈 ,  이희철 ,  김호기

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .11