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학술대회자료
저자정보
장태웅 (한국과학기술원) 이화성 (한국과학기술원) 안병태 (한국과학기술원) 백종태 (한국전자통신연구소)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1997년도 한국재료학회 춘계학술발표회
발행연도
1997.1
수록면
24 - 24 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

1998

DMEAA를 사용해 CVD법으로 증착한 알루미늄 박막의 증착속도에 관한 수소 효과
장태웅 ,  이화성 ,  백종태 외 1명 한국재료학회지 1998.01 학술저널
DMEAA로 증착된 알루미늄 박막의 수소 플라즈마 효과
장태웅 ,  이화성 ,  안병태 대한전자공학회 학술대회 1998.01 학술대회자료

1997

DMEAA를 사용하여 CVD법으로 증착한 Al 박막의 증착속도에 대한 수소 효과
장태웅 ,  이화성 ,  안병태 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 1997.01 학술대회자료

1996

DMEAA 소스로 기상화학 증착된 알루미늄 박막의 증착특성
장태웅 ,  문원 ,  백종태 외 1명 한국재료학회지 1996.01 학술저널

1995

MOCVD 방법에 의한 DMEAA로 증착한 알루미늄 박막의 증착특성
장태웅 ,  백종태 ,  강상원 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1995.01 학술대회자료

1994

TIBA 와 DMEAA로 증착된 Al 박막의 증착특성 비교
장태웅 ,  백종태 ,  천성순 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 1994.01 학술대회자료

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