증착 조건에 따른 비정질 실리콘 박막의 고상결정화 거동과 미세구조의 변화

황석민 ,  류명관 ,  김기범 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

SOLID PHASE CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS SILICON THIN FILM BY SURFACE ACTIVATION TREATMENT

Lee ,  Ui-S. ,  Kim 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

플라즈마 처리에 따른 비정질 실리콘 박막의 결정화 거동과 측면 유도 결정화에 관한 연구

김덕녕 ,  박성계 ,  김형준 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

비정질 실리콘박막의 고상결정화 우선방위에 대한 모델

류명관 ,  황석민 ,  김기범

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

비정질 실리콘 박막의 결정화에 대한 기판의 영향

김현철 ,  김현태

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Laser를 이용하지 않는 비정질 실리콘 박막의 극저온결정화

신종배 ,  김병수 ,  최덕균

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

기계적 damage 활성화 효과에 대한 비정질 규소 박막의 고상 결정화 거동

김형택 ,  김영관

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

LPCVD법으로 증착된 다층비정질 실리콘박막의 고상결정화

황의훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

단전자소자제작을 위한 비정질 실리콘박막의 결정화에 관한 연구

고재석 ,  김광일 ,  권영규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

단전자소자 제작을 위한 비정질 실리콘박막의 결정화에 관한 연구 ( Crystallization Characteristics of Amorphous Silicon Thin Films for Single Electron Device ( SED ) )

고재석 ,  김광일 ,  권영규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

비정질 실리콘 박막의 결정화 현상에 관한 투과전자현미경에 의한 연구 ( Transmission Electron Microscopy Study on the Crystallization Phenomena of the Amorphous Silicon Thin Films )

김진혁 ,  이정용 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

비정질 실리콘 박막의 결정화 현상에 관한 투과전자 현미경에 의한 연구

김진혁 ,  이정용 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

비정질 박막의 결정화에 미치는 기판의 영향

홍성민 ,  고경현 ,  안재환

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

새로운 Ni 용액을 이용한 비정질 Si의 고상결정화

안진형 ,  임미화 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

비정질/다결정 실리콘 박막 저항의 열처리에 따른 특성

현영철 ,  김기홍 ,  박민 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

고상결정화 방법으로 형성된 다결정 실리콘 박막의 구조 연구

송윤호 ,  박경호 ,  이용일 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

증착속도에 따른 LPCVD 비정질실리콘 박막의 고상결정화거동

최용우 ,  손동균 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

전계 유도 방향성 결정화 공정시 비정질 실리콘 박막의 결정화에 미치는AC전압의 영향

최성화 ,  김영배 ,  김현철 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

주입가스 차단을 이용하여 불연속 증착방법에 의해 제조된 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화

정세진 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

The Substrate Effects on Kinetics and Mechanism of Solid-Phase Crystallization of Amorphous Silicon Thin Films

Yoon-Ho Song ,  Seung-Youl Kang ,  Kyoung Ik Cho 외 1명

[ETRI] ETRI Journal

1997 .02