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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김동주 (강원대학교 화학공학과) 김교선 (강원대학교 화학공학과)
저널정보
강원대학교 산업기술연구소 산업기술연구 : 강원대학교 산업기술연구소 산업기술연구 : 강원대학교 산업기술연구소 제15권
발행연도
1995.1
수록면
15 - 22 (8page)

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We have studied the generation and behavior of negative ions in silane plasmas. The negative ions were formed by homogeneous reaction in silane plasma and the behavior of negative ions were predicted by solving the model equations. The concentration profiles of negative ions were shown as a function of reactor length and time. The effects of process variables such as reactor pressure, flow rate and electrical field strengths on the behavior of negative ions were analyzed.

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