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논문 기본 정보
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- 한국초전도학회 한국초전도학회 High Temperature Superconductivity 한국초전도학회 1999년도 High Temperature Superconductivity Vol.IX
- 발행연도
- 1999.1
- 수록면
- 87 - 90 (4page)
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We have studied the annealing effects of 570 (SrTiO$_3$) single crystal substrate and the I-V properties of step-edge junctions after Ar ion milling. YBa$_2Cu_3O_7$ (YBCO) thin films are fabricated on the substrates by using pulsed laser deposition (PLD) and photolithography. The surface of Ar ion milled substrate was characterized with atomic force microscope (AFM) and scanning electron microscope (SEM) images. After the substrate was damaged by milling, the critical current density of YBCO thin films deposited on the substrate was lowered. The annealing of the damaged substrate at about 1000 $^{\circ}C$ recovered the critical current density to that before the milling. Futhermore the annealing helped junction formation due to high quality film and increased the yield rate for the fabrication of high quality step-edge junction.
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