Ir 전극 위에 증착한 PECVD-PZT 박막의 fatigue 특성에 관한 연구

이희철; 이원종

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이희철 (KAIST 재료공학과) 이원종 (KAIST 재료공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2001년도 추계 학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 2001.1

수록면: 65 - 65 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2001

PECVD법으로 증착한 PZT 박막의 fatigue 특성 및 누설 전류 특성에 관한 연구

이희철 , 정수옥 , 이원종 한국재료학회 학술발표대회 2001.01 학술대회자료

Ir 전극 위에 증착한 PECVD-PZT 박막의 fatigue 특성에 관한 연구

이희철 , 이원종 한국재료학회 학술발표대회 2001.01 학술대회자료

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이 논문의 저자 정보

이희철

소속기관 KAIST 재료공학과

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 3 이용수 0

이원종

소속기관 한국과학기술원 신소재공학과

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 자연과학 > 지구과학 > 지질학

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