FBAR 필터 응용을 위한 Al 하부전극 상에서 ZnO 박막 증착 및 온도가 ZnO 결정의 성장에 미치는 영향

윤기완 ,  임문혁 ,  채동규 외 1명

한국정보통신학회논문지

2003 .04

RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 FBAR 소자용 ZnO 박막의 특성

김선영 ,  이능헌 ,  김수길 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

FBAR 소자제작을 위한 ZnO 박막 증착 및 특성

신영화 ,  권상직 ,  김형준

전기전자재료학회논문지

2005 .01

희생층과 압전층의 면적변화에 따른 ZnO 압전박막을 이용한 Air-gap type FBAR의 특성

고성용 ,  장철영 ,  최현철 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

Li2CO3:ZnO를 이용하여 제조한 FBAR의 제작 및 열처리에 따른 구조적, 전기적 특성

김봉석 ,  김응권 ,  이태용 외 2명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

FBAR devices for RF bandpass filter applications

Gi-Wan Yoon ,  Sung-Chang Choi

한국정보통신학회논문지

2001 .12

Fabrication Techniques & Resonance Characteristics of FBAR Devices

Giwan Yoon ,  Hae-il Song ,  Jae-young Lee 외 2명

한국정보통신학회논문지

2007 .11

FBAR용 ZnO/SiO2/Si 박막의 결정학적 특성에 관한 연구

금민종 ,  손인환 ,  최명규 외 4명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 증착온도에 따른 구조 및 전기적 특성

오수영 ,  김응권 ,  이태용 외 3명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

유전자 알고리즘을 이용한 압전 박막 음향 공진기에서의 물질 상수 추출 기법

이정흠 ,  정재용 ,  김형동

한국전자파학회논문지

2003 .04

가변대역통과여파기 설계를 위한 FBAR 해석 및 FBAR 필터 설계기법

이정흠 ,  김형동

한국통신학회지(정보와통신)

2002 .12

FBAR 소자의 압전층으로 사용되는 ZnO 박막의 증착시 ALD를 이용한 2-step법 적용에 관한 연구

이순범 ,  박성현 ,  이능헌 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

ALD와 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 FBAR 소자의 ZnO 박막증착 및 특성

신영화 ,  권상직 ,  윤영수

전기전자재료학회논문지

2005 .01

ZnO : Al , In 박막의 구조적 및 전기적 특성 ( Structural and Electrical Properties of ZnO : Al , In Thin Film )

박경일 ,  서무룡 ,  홍범표 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

RF필터 응용을 위한 반사층 구조를 갖는 FBAR의 제작

서병철 ,  박상현 ,  박희대 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1999 .07