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학술대회자료
저자정보
박점용 (한양대학교 금속재료공학과) 박진구 (한양대학교 금속재료공학과) 고승 (Hunatech Co.) 명범영 (Hunatech Co.) 이상익 (Hynix Semiconductor Advanced Process-CMP)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2002년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
발행연도
2002.1
수록면
55 - 55 (1page)

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2002

CMP 공정 중 polishing performance 향상을 위한 세라믹 컨디셔너의 개발과 특성평가
박점용 ,  박진구 ,  고승 외 3명 한국재료학회 학술발표대회 2002.01 학술대회자료
CMP 공정 중 세라믹 컨디셔너의 물리적, 화학적 특성평가
박점용 ,  박진구 ,  고승 외 2명 한국재료학회 학술발표대회 2002.01 학술대회자료

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