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자료유형
학술대회자료
저자정보
양우석 (한국전자부품 연구원) 이승태 (단국대학교 전자공학과) 김우경 (한국전자부품 연구원) 박우정 (성균관대학교 신소재공학과) 윤대호 (성균관대학교 신소재공학과) 이한영 (한국전자부품 연구원)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
발행연도
2003.1
수록면
141 - 141 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2006

저손실 Ti:LiNbO3 광도파로의 주기적 분극 반전과 광학특성
양우석 ,  김우경 ,  윤대호 외 3명 한국결정성장학회지 2006.01 학술저널

2003

$Ti:LiNbO_3$ 광도파로 제작 동안 확산온도 및 분위기에 따른 Ti 층의 특성변화
양우석 ,  이승태 ,  김우경 외 3명 한국재료학회 학술발표대회 2003.01 학술대회자료

2002

Mach-Zehnder 형태의 Ti 확산 LiNbO₃ 광도파로의 플라즈마 식각 특성
양우석 ,  이승태 ,  김우경 외 6명 한국통신학회 기타 간행물 2002.10 학술대회자료

2001

WetO₂ 분위기 열확산 공정에서 Ti:LiNbO₃ 광도파로 형성에 미치는 영향
양우석 ,  김용탁 ,  곽용석 외 6명 한국통신학회 기타 간행물 2001.10 학술대회자료

초록· 키워드

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전기-광 효과를 이용한 광변조기, 스위치 등의 소자 구현을 위해 고품질의 Ti:LiNbO$_3$ 광도파로 제작은 필수적이다. LiNbO$_3$ 광도파로는 양자교환(APE) 및 Ti 확산 법으로 제조할 수 있으며 전자의 경우 ne 는 증가, no는 감소되는 경향이 있어 편광도 파로의 제작에 용의하며 후자의 경우 ne 와 no 모두 증가하는 도파로 특성을 갖는다. 이러한, 도파로 소자의 특성 향상을 위해서는 Li out-diffusion 이 억제된 손실이 적은 도파로 제작이 필수적이다. 본 연구에서는 Ti 내부 확산법을 이용한 LiNbO$_3$ 광도파로를 확산분위기를 조건으로 하여 제작하였으며, 온도에 따른 각 이온의 반응 메커니즘에 관하여 관찰하였다.

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