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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이형권 (싸이머코리아)
저널정보
한국광학기기협회 광학세계 광학세계 제14권 제3호
발행연도
2002.1
수록면
51 - 53 (3page)

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2002년 초에 Dataquest에 의해 발표된 시장전망에 의하면, 2003년 이후 3$~$4년간 엑시머 레이저를 이용한 DUV 노광장비 시장은 큰 폭으로 확대될 것으로 전망하고 있으며, DRAM 수요의 증가와 12인치(300mm) 공정의 가속화가 그 예상을 뒷받침 하고 있다. 특히, KrF엑시머 레이저 공정 이후에 도입될 ArF엑시머 레이저 시장의 확대가 주목된다.

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