지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
GaN와 $NH_3$를 source gas로 사용하여 (0001) sapphire 기판에 CVPE(Chloride Vapor Epitaxy)방법으로 GaN 박막을 성장시킨후 그 특성을 조사하였다. 성장온도 $970^{\circ}C$ 부터 $1040^{\circ}C$ 영역에서 source gas의 유량비를 변화하면서 최적증착조건을 구현하였고, GaN증착이전에 $NH_3$ 가스로써 질화전처리를 하였다. 수행된 실험조건범위내에서 최적증착조건은 증착온도 $1040^{\circ}C$에서 질화전 처리 3분으로 III/V source gas의 유량비율이 2일 때 였으며, 이때의 XRD분석에서의 FWHM값은(0001) peak에서 약 0.32deg를 나타내었다. GaN박막성장속도는 이때 약 $1040^{\circ}C$였다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Ga-flow interruption 방법으로 재성장한 GaN 박막의 구조적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
-
InxGa1-xN/GaN 다중양자우물 구조의 광학적 성질 연구
Applied Science and Convergence Technology
2009 .01
-
Effect of nitridation of sapphire in NH₃ ambient on GaN grown by MOCVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
-
Introduction of LT-GaN interlayer in InGaN/GaN multiple quantum well structure
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
-
분광 반사법을 이용한 GaN 박막의 실시간 관찰
Applied Science and Convergence Technology
2011 .09
-
분자선에피를 이용한 In0.2Ga0.8N / GaN 이종접합구조의 성장에 미치는 플라즈마의 영향
Applied Science and Convergence Technology
2005 .06
-
HVPE법에 의한 벌크 GaN의 성장과 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
-
고온 GaN 버퍼층 성장방법을 이용한 비극성 a-plane GaN 성장 및 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
-
Si(111) 기판에 형성한 GaN Nanowire의 성장 매커니즘 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
-
GaN 전용 Ⅲ - Ⅴ MBE 장비의 제작 및 고품위 에피택셜 GaN 박막 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
-
Al 박막이 증착 된 Si(111) 기판 위에 HVPE 방법으로 성장한 GaN의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2005 .12
-
Free-standing GaN 기판을 이용한 GaN 동종에피성장 및 높은 인듐 조성의 InGan/GaN 다층 양자우물구조의 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
-
LaAlO₃(100) 기판 위에 epitaxy 성장된 GaN 박막의 구조
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
-
Growth and characterization of molecular beam epitaxy grown GaN thin films using single source precursor with ammonia
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
-
Characteristics of GaN films by RF - Molecular Beam Epitaxy according to the growth process
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
-
원격 플라즈마 금속 유기 화학 기상 증착법에 의한 저온 GaN 완충막 성장에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
-
Si (111) 기판 위에 다양한 AlN 완충층을 이용한 GaN 성장과 특성 비교
Applied Science and Convergence Technology
2002 .04
-
Growth of GaN films on LiNbO₃ using molecular beam epitaxy
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
-
GaN - LED 동향과 전망
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
-
GSMBE 방법으로 Si(110) 기판 위에 성장된 GaN 박막의 미세구조 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0