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자료유형
학술저널
저자정보
류성욱 (한국과학기술원 기계공학과) 이상용 (한국과학기술원 기계공학과)
저널정보
한국분무공학회 한국액체미립화학회지 한국액체미립화학회지 제11권 제1호
발행연도
2006.1
수록면
7 - 16 (10page)

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Performance of thin films fabricated with the electrostatic spray deposition (ESD) technique is strongly governed by surface morphology, which depends on deposition parameters such as deposition time and temperature, solution properties, and surface characteristics of substrates. In this article, the state of the art on the relationships between the surface morphology and the deposition parameters is presented. Also studies on the electro-hydrodynamic atomization process and the motion of drops relevant to the ESD technique are briefly reviewed, and the future research works are suggested.
#정전기 분무 증착법 #정전기 졸-분무 증착법 #표면 형상 #증착 인자 #증착 과정 #Electrostatic spray deposition #Electrostatic sol-spray deposition #Surface morphology #Deposition parameter #Deposition process

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