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학술저널
저자정보
윤혁중 (대전기능대학 금형학과) 임순재 (표준과학연구원 계측공학그룹) 이동주 (충남대학교 기계공학과) 한흥삼 (과학기술원 기계공학과)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제2권 제3호
발행연도
1999.1
수록면
32 - 41 (10page)

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This study is about Jig used in wiring when we make Probecard and Large Scale Intergrated Electronic Circuit. The most universal wiring method is molding with Bond. Polymer film is punched down and adhesives is applied after wiring. Due to shrinkage and modification many problems still have happened in the process of molding. To solve these problems, ceramic plate was introduced in the study. Using Laser, an experiment of microhole treatment on ceramic plate was proceeded. Laser energy, assistance gas, and special features by purity degree were analyzed with the 35W low capacity YAG-Laser. In the condition of energy 0.08J, frequency 20Hz and interval time 200$mutextrm{s}$, about 70${\mu}{\textrm}{m}$ microhole was adequate for the Probecard Jig. In the purity experiment of ceramic materials, high purity ceramic met with good result for microhole. But the price is too high. The shape and size of holes machined combustion gas $O_2$ were better than those in $N_2$ and Ar, the inert gas.

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