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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김범준 (고려대학교 공과대학 재료공학과) 변동진 (고려대학교 공과대학 재료공학과) 이중기 (한국과학기술연구원 청정기술 연구센타) 박달근 (한국과학기술연구원 청정기술 연구센타)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제10권 제4호
발행연도
2000.1
수록면
264 - 269 (6page)

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$TiO_2$sol(30wt%, anatase)을 이용하여 스핀코팅으로 유리기판에 $TiO_2$박막을 제조하였다. 박막의 두께는 코팅주기의 횟수가 조절하였다. 한 코팅주기는 스핀코팅, 건조, 열처리를 포함한다. 박막의 반응성은 막 위에서의 자외선강도가 0.44와 2.mW/$\textrm{cm}^2$인 조건에서 벤젠기체의 광분해 속도를 통해 조사하였다. 박막의 두께가 증가할수록 표면적으로 증가로 인해 반응성은 증가하였으며, 0.44mW/$\textrm{cm}^2$일 때 4$\mu\textrm{m}$정도 이상의 두께에서 반응성은 더 이상 증가되지 않았다. porous한 $TiO_2$박막은 비교적 넓은 유효표면적을 가지고 있으며, 그것은 비교적 높은 자외선 강도하에서 박막두께에 따라 반응속도를 증가시키는 결과를 낳았다.

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