300mm wafer cassette 반송용 이동 로봇

성학경 ,  한용섭 ,  김성권

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1999 .10

Wafer 낱장 반송용 이동 로봇의 개발

성학경 ,  이성현 ,  김성권

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2000 .10

Wafer 낱장 반송용 이동 로봇의 개발

성학경 ,  이성현 ,  김성권

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2000 .10

반송우편 서비스 시스템 개발

박문성 ,  나동길 ,  정훈

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2012 .05

무인반송차와 그 응용

양재규

전자공학회지

1986 .04

300mm Wafer시대의 기술전망과 과제

조상준

공기청정기술

1999 .01

차세대 에너지/사회 시스템

한국열병합발전협회

열병합발전

2010 .01

반송 시 웨이퍼 이탈을 최소화 하기 위한 새로운 형태의 웨이퍼 가이드 메커니즘

김대원 ,  유지환

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

A Control Algorithm for 300mm Wafer Edge Exposure Process

Honglae Pa ,  k ,  Joon Lyou

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2002 .10

Wafer 반송용 End-Effector의 FEM 해석 및 파지력 제어에 관한 연구

권오진 ,  최성주 ,  이우영 외 2명

한국반도체장비학회지

2003 .01

최신 무인반송차의 개발 현황

한국전자산업진흥회

전자진흥

1984 .01

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

상용반송전화장치의 현황

박영효

전자공학회지

1965 .03

Automated Wafer Separation from the Stacked Array of Solar Cell Silicon Wafers Using Continuous Water Jet

Kim ,  Kyoung-Jin ,  Kim 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

퍼지 논리를 이용한 웨이퍼의 사이즈 추정 알고리즘

권오진 ,  최성주 ,  조현찬 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구

김효남

한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집

2015 .01

실리콘 웨이퍼 연마헤드의 강제구동 방식이 웨이퍼 연마 평탄도에 미치는 영향 연구

김경진 ,  박중윤

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

전력선반송전화시설에 관하여

최동규

전기의세계

1953 .01

생존분석을 이용한 디스플레이 FAB의 반송시간 예측모형

한바울 ,  백준걸

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2013 .11

450mm 웨이퍼검사용 nm 급 초정밀스테이지의 설계 및 제작

최동수 ,  조규중 ,  김경록

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10