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학술저널
저자정보
설용태 (호서대학교 전기정보통신제어공학부) 이의용 (호서대학교 전기정보통신제어공학부) 박성진 (호서대학교 전기정보통신제어공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체장비학회지 한국반도체장비학회지 제2권 제4호
발행연도
2003.1
수록면
13 - 17 (5page)

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An adaptor is designed for chamber impedance measurement of plasma process. Copper rod, fixed board and compensation circuit are the major components of the adaptor. An adaptor can be to measure chamber impedance on time unless stopping a process and Data to measure can do the database. We can use it to a criteria data for a failure diagnosis. So developed adaptor could be used for diagnosis the plasma process chamber in semiconductor industry.
#Adaptor #Plasma #Impedance

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