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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
오상호 (포항공과대학교 재료금속공학과) 박찬경 (포항공과대학교 재료금속공학과) 백홍구 (연세대학교 금속공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제8권 제12호
발행연도
1998.1
수록면
1,090 - 1,098 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1998

$\textrm{RuO}_2$ 박막의 산소 분위기 열처리시 열적 안정성에 관한 연구
오상호 ,  박찬경 ,  백홍구 한국재료학회지 1998.01 학술저널

1997

Ru$O_{2}$ 박막과 Ru$O_{2}$/Ru 이중막의 산소 분위기 열처리시 표면 반응 연구
오상호 ,  박찬로 ,  박찬경 한국재료학회 학술발표대회 1997.01 학술대회자료

초록· 키워드

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Rf 마그네트론 반응성 스퍼터링법으로 $RuO_2$박막을 Si 및 Ru/Si 기판 위에 증착한 뒤 산소 분위기 (1atm)에서 열처리를 하여 RuO$_2$박막의 열적 안정성 및 확산방지 특성을 연구하였다.$ RuO_2$박막은 산소 분위기 $700^{\circ}C$에서 10분까지 안정하여, 산소와 실리콘에 대한 우수한 확산방지 특성을 나타내었다 $750^{\circ}C$ 열처리시, 우선 성장 방위에 관계없이 RuO$_2$박막 표면 및 내부에서 휘발 반응이 일어남과 동시에 확산방지 특성은 저하되었다. 그러나 80$0^{\circ}C$ 열처리 시에는 $750^{\circ}C$ 열처리와는 다른 미세구조를 나타내었다. 이러한 열처리 온도에 따른 휘발반응에는 RuO$_2$의 표면 결함구조인 $RuO_3$와 증착시 박막내 함유된 과잉산소에 의한 결함 구조가 영향을 주는 것으로 판단된다.

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