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Hexamethylcyclotrisiloxane($D_3$), tetramethylcyclotetrasiloxane(TMCTS)을 공중합 시켜 Si-H 결합을 함유한 polysiloxane 공중합체를 합성하고 allylamine과 반응시켜 amino 기를 도입시킨후 naphthoquinone-1,2-diazide-5-sulfonyl chloride 와 반응시켜 naphthoquinone-1,2-diazide-5-sulfonyl 기가 도입된 polysiloxane을 합성하였다. 생성 공중합체의 열적특성을 측정한 결과, 열분해온도는 $360{\sim}450^{\circ}C$ 정도였으며 또한 감광특성은 backbone 수지의 분자량이나 증감제의 종류에 따라 영향을 받았다. Sensitivity는 $50{\sim}120mJ/cm^2$였고 contrast(${\gamma}$)는 1.4~2.1였으며 backbone 수지의 분자량이 증가함에 따라 약간 감소하였다.
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