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저자정보
신중식 (한국과학기술원 전자재료공학과) 조창현 (한국과학기술원 전자재료공학과) 황두섭 (한국과학기술원 전자재료공학과) 김영근 (한국과학기술원 전자재료공학과) 위당문 (한국과학기술원 전자재료공학과) 천성순 (한국과학기술원 전자재료공학과) 신우석 (한국과학기술원 무기재료공학과) 배성준 (한국과학기술원 무기재료공학과) 홍승범 (한국과학기술원 무기재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제4권 제6호
발행연도
1994.1
수록면
681 - 686 (6page)

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$YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}$결정입계 접합을 이용한 마이크로파 감지소자 $YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}$초전도체 박막을 화학증착법을 이용하여 $LaAIO_{3}$단결정 위에 증착하여 임계온도 90K이상 임계전류밀도 $10^5/A \textrm{cm}^2$(77K) 이상의 우수한 박막을 제작하였다. 이를 포토작업과 이온밀링을 실시하여 수 마이크로미터 크기의 브릿지 형태로 만든 후 이들의 전류전압 특성을 조사하였다. 브릿지에 입사된 마이크로파의 크기에 따라 브릿지 간의 임계전류값의 저하가 관찰되었으며 동시에 샤피로스텝을 관찰할 수 있었다.

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