Selective Growth of Carbon Nanotubes and Its Electron Emission Properties

Ryu, Je-Hwang; Kim, Ki-Seo; Yu, Yi-Yin; Moon, Jong-Hyun; Park, Kyu-Chang; Jang, Jin

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저자정보: Ryu, Je-Hwang (Dept. of Information Display and Advanced Display Research Center, Kyung Hee University) Kim, Ki-Seo (Dept. of Physics and Advanced Display Research Center, Kyung Hee University) Yu, Yi-Yin (Dept. of Information Display and Advanced Display Research Center, Kyung Hee University) Moon, Jong-Hyun (Advanced Display Research Center, Kyung Hee University) Park, Kyu-Chang (Dept. of Information Display and Advanced Display Research Center, Kyung Hee University) Jang, Jin (Dept. of Information Display and Advanced Display Research Center, Kyung Hee University)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display

발행연도: 2006.1

수록면: 1,229 - 1,232 (4page)

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We have grown well-aligned carbon nanotube arrays on the selective areas by plasma enhanced chemical vapor deposition at the substrate temperature of $580\;^{\circ}C$. The selective areas for CNTs growth can be defined by photo lithography technology. The CNTs are uniformly grown on the areas regardless of island diameters. Electron emission currents were measured in a vacuum with a diode structure at room temperature. Uniform electron emission currents were achieved with $40\;{\mu}m$ island spacing with $5{\mu}m$ island diameter.

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