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자료유형
학술저널
저자정보
백상우 (한양대학교) 조남규 (한양대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.37 No.9
발행연도
2020.9
수록면
643 - 651 (9page)
DOI
10.7736/JKSPE.020.052

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In this research, a precise on-machine line-profile measuring system that compensates for the motion-error from the linear-guide, which can influence the accuracy of the measurement of the profile was developed. For this purpose, the principle of measuring the system model was used to analyze the compensating motion error component for line-profile and 3 types of MPES method (Integration-Method, the Fourier-Model-Method, and the Sequential-Method). The multi-probe-error-separation-method (MPES) was applied to calculate the motion-error, which in turn was used to compensate for the measured linear-profile of the specimen. Lastly, the simulation conditions involving a multi-probe measurement system consisting of a reference-artifact, capacitive-sensor, and three displacement-sensors were designed and Monte-Carlo simulation was implemented for the evaluation of the 3 types of MPES method. Also, the simulation results obtained from the conventional measuring system and the proposed system were compared for the verification of the performance of the latter. Consequently, efficient compensation of the motion error appeared as possible and the applicability of the multi-probe measurement system was confirmed.
#Line-profile measuring system (라인프로파일 측정시스템) #On-machine measurement (온-머신 측정) #Multi-DOF motion error (다자유도 구동오차) #Linear form component (선형 형상 성분) #Error separation technique (오차분리기술)

목차

1. 서론
2. 원리
3. 정밀 라인프로파일 측정을 위한 MPES 측정 방법 시뮬레이션 검증
4. 결론
REFERENCES

참고문헌 (22)

참고문헌 신청
Gao, W., Haitjema, H., Fang, F., Leach, R., Cheung, C., et al., “On-Machine and In-Process Surface Metrology for Precision Manufacturing,” CIRP Annals, Vol. 68, No. 2, pp. 843-866, 2019. google schola Zhang, E., Teng, X., Chen, B., Zhang, S., and Li, Z., “Three- Degrees-of-Freedom Measurement System for Measuring Straightness Errors and Their Position based on the Faraday Effect,” Applied Optics, Vol. 59, No. 3, pp. 764-770, 2020. google schola Zhu, M., Ge, G., Yang, Y., Du, Z., and Yang, J., “Uncertainty Evaluation of Straightness in Coordinate Measuring Machines based on Error Ellipse Theory Integrated with Monte Carlo Method,” Measurement Science and Technology, Vol. 31, No. 3, Paper No. 035008, 2019. google schola Kung, A., Bircher, B. A., and Meli, F., “Low-Cost 2D Index and Straightness Measurement System based on a CMOS Image Sensor,” Sensors, Vol. 19, No. 24, p. 5461, 2019. google schola K?en, P., “Design of Ultra-Precise Scanning Deflectometer,” Optical Engineering, Vol. 58, No. 9, Paper No. 094110, 2019. google schola

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