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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
이동현 (부산대학교) 양건 (부산대학교) 박주용 (부산대학교) 박민혁 (부산대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제53권 제4호
발행연도
2020.8
수록면
169 - 181 (13page)

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The ferroelectricity in emerging fluorite-structure oxides such as HfO₂ and ZrO₂ has attracted increasing interest since 2011. Different from conventional ferroelectrics, the fluorite-structure ferroelectrics could be reliably scaled down below 10 nm thickness with established atomic layer deposition technique. However, defects such as carbon, hydrogen, and nitrogen atoms in fluorite-structure ferroelectrics are reported to strongly affect the nanoscale polymorphism and resulting ferroelectricity. The characteristic nanoscale polymorphism and resulting ferroelectricity in fluorite-structure oxides have been reported to be influenced by defect concentration. Moreover, the conduction of charge carriers through fluorite-structure ferroelectrics is affected by impurities. In this review, the origin and effects of various kinds of defects are reviewed based on existing literature.

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
References

참고문헌 (48)

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