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학술저널
저자정보
도시로 (큐슈대학) 쿠로가와슈헤이 (큐슈대학) 우메자키요우지 (큐슈대학) 코시야마이사무 (코시야마과학기술진흥재단)
저널정보
한국광학기기협회 광학세계 광학세계 제119권
발행연도
2009.1
수록면
60 - 64 (5page)

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최근 전자 광정보통신시스템의 급속한 고성능화 다기능화로 상징되는 것처럼, 기능성 재료의 물성을 십분 발휘하여 초고성능부품을 제조하기 위해서는 초정밀가공기술이 필수이다. 여기에서 말하는 초정밀가공조건에는 통상, 무료란(결정공학적으로 원자배열에 교란이 없는)경면, 게다가 나노미터오더의 형상정도여야 하는 것이 대전제가 된다. 본 고에서는 초정밀가공기술을 구사한 가공공정 중에서, 가장 미세한 가공면을 얻을 수 있는 유리지립 가공의 초정밀폴리싱/CMP기술과 그 응용사례에 관해 서술한다.

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