지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
We have considered the effect of electron irradiation energy of 300, 600 and 900 eV on structural, electrical and optical properties of $In_2O_3$ films prepared with RF magnetron sputtering. In this study, the thin film crystallization, optical transmittance and sheet resistance are dependent on the electron's irradiation energy. The electron irradiated $In_2O_3$ films at 900 eV are grown as a hexagonal wurtzite phase. The sheet resistance decreases with a increase in electron irradiation energy and $In_2O_3$ film irradiated at 900 eV shows the lowest sheet resistance of $110{\Omega}/{\Box}$. The optical transmittance of $In_2O_3$ films in a visible wave length region also depends on the electron irradiation energy. The film that at 900 eV shows the higher figure of merit than another films prepared in this study.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0