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학술저널
저자정보
정윤재 (KAIST 부설 한국과학영재학교 응용음향학 연구실) 양승수 (KAIST 부설 한국과학영재학교 응용음향학 연구실) 유민재 (KAIST 부설 한국과학영재학교 응용음향학 연구실) 김영환 (KAIST 부설 한국과학영재학교 응용음향학 연구실)
저널정보
한국음향학회 한국음향학회지 한국음향학회지 제37권 제4호
발행연도
2018.1
수록면
174 - 180 (7page)

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본 연구에서는 이방성 매질인 (100), (111) 방향의 실리콘 웨이퍼에서 램파의 전파 특성을 PVDF-(Polyvinylidene Fluoride) 선집속 탐촉자를 이용하여 분석하였다. 램파가 분산성을 가지기 때문에 탐촉자와 시편 사이의 거리 z를 바꿔가며 측정하는 V(f,z)방법을 변형하여 사용하였다. 또한 이방성을 확인하기 위해 선집속 탐촉자가 사용되었고, 실리콘 웨이퍼를 $1^{\circ}$ 간격으로 $180^{\circ}$ 회전시켜 측정하였다. 실험 결과, $A_0$ 모드와 $S_0$ 모드를 확인할 수 있었다. $S_0$ 모드의 속력 분포에서 각 결정 방향의 구조와 연관된 이방성을 확인할 수 있었고, $A_0$ 모드의 속력은 등방성으로 나타났다. 이는 실리콘의 결정구조와 램파의 각 모드의 진동양상과 부합하는 결과이다.
#램파 #이방성 #선집속 탐촉자 #실리콘 웨이퍼

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