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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이수환 (부경대학교 안전공학과) 이동훈 (부경대학교 안전공학과)
저널정보
한국안전학회 한국안전학회지 한국안전학회지 제33권 제2호
발행연도
2018.1
수록면
28 - 31 (4page)

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In display and semi-conductor manufacturing process, there are numerous unstable factors such as particle concentration, minimal vibration, changes in magnetic field, or electrostatic that becomes an issue to be managed and controlled. In the recent, X-ray ionization is widely used that is neutralized by separating air or gas molecules in the area where the static must be resolved. The mono-type of X-ray ionizer was not capable to be used in $8^{th}$ generation panels manufacturing plant due to its insufficient ionizing coverage since the panel itself is approximately in $2m{\times}3m$. To resolve the current problem, the development of new type called, "Multi-type X-ray ionizer" has resulted in covering enough ionizing space in $8^{th}$ generation panels industry. Comparing mono and multi types with MCNPX code simulation, the multi one indicates more X-ray flux, efficiency, and ionization performance in comparison with either a mono-type or multi-type in array format. In addition, the ionizing efficiency of overlapping area with multi-type showed 30% higher effectiveness rate as to the ordinary mono-type.
#soft x-ray #multi type ionizer #MCNPX code #dose rate #decay time

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S. M. Kim / 2015 / Study of Application of the Static Electricity Removing Devices at TFT-LCD and AMOLED TFT Process google schola Adachi T / 1980 / The Behavior of Dust Particle in Electrostatic Precipitators / Journal of the Institute of Elect Rostatics Japan 4(3):152~159 google schola G. B. Park / 1998 / A Study of De-electrification Characteristics of Charged Body By Sort X-Ray Ionizer / Journal of KIIS 13(3):67~73 google schola 권승열 / 2010 / 기류방출형 연X선 조사에 의한 정전기 제거 장치에 관한 연구 / 한국안전학회지 25(1):27~31 google schola 정필훈 / 2017 / Monte Carlo N-Particle Extended 코드를 이용한 연X선 정전기제거장치의 최적설계에 관한 연구 / 한국안전학회지 32(2):34~37 dbpia

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