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자료유형
학술저널
저자정보
김호태 (호서대학교 화학공학과) 강동구 (호서대학교 화학공학과) 김진배 (호서대학교 화학공학과)
저널정보
한국공업화학회 공업화학 공업화학 제20권 제5호
발행연도
2009.1
수록면
557 - 560 (4page)

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본 연구에서는 글라스를 $100{\mu}m$ 이하의 두께로 박판화하기 위한 새로운 습식 에칭방법 및 에칭 용액을 검토하였다. $NH_4F$ 또는 $NH_4HF_2$를 주성분으로 황산 또는 질산을 첨가한 경우 에칭 용액의 불산 함유량을 저감하는 데에 효과가 있었다. 혼산 용액의 조성과 온도의 영향을 검토하였으며, 음이온계 계면활성제의 첨가는 에칭반응에 의해 생성되는 슬러지의 부착을 억제해주는 효과가 있었다. 수류 발생부를 가지는 새로운 파일럿 장비를 사용하여 상용 무알칼리 글라스와 소다라임 글라스의 에칭 실험을 실시하였다. $640{\mu}m$ 두께의 무알칼리 글라스를 $45{\mu}m$ 두께로 $500{\mu}m$ 두께의 소다라임 글라스를 $100{\mu}m$ 두께로 박판화하였으며, 에칭 후의 표면 조도는 $0.01{\sim}0.02{\mu}m$를 유지하였다.
#glass thinning #fluorides solution #surface roughness #wet etching

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