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본 논문에서는 박막코팅기술의 공정은 고경도 박막과 질화층의 접합력을 높이기 위하여 적용하였다. 이 박막코팅기술은 프레스 금형에 사용되는 경도와 인성을 얻을 수 있는 복합 박막을 형성했다. 이러한 박막 코팅 생산 기술은 물리증착방법을 이용하여 진공 챔버의 진공도를 증가하고, 건파워의 투사율을 향상시켰다. 티타늄합금 타겟은 각종 정밀가공 부품에 복합박막코팅기술 개발을 통하여 성능과 표면재질을 개선하였다.
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참고문헌 (8)
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정재인 / 2011 / 박막제조 기술의 동향과 전망 / 한국자기학회지 21(5):185~192
이은성 / 2003 / 진공아크 증착법과 다른 공정에 의해 증착된 MgO 박막 특성 비교 / 한국진공학회지 12(2):112~117
Sung-Hun Jang / 2010 / Properties of TiAIN Films Deposited by Cathodic Arc Method / The center of RIST 24(4):207~211
Chan-Kun Park / 2000 / Deposition of DLC film by using an FCVA system with a magnetic mirror and characterization of its material properties / The Korean institute of Electrical Engineers :1717~1719
Myung-Bok Lee / Introduction of Vacuum Surface Analysis Techniques / Du Yang Sa :23~46
이은성 / 2003 / 진공아크 증착법과 다른 공정에 의해 증착된 MgO 박막 특성 비교 / 한국진공학회지 12(2):112~117
Sung-Hun Jang / 2010 / Properties of TiAIN Films Deposited by Cathodic Arc Method / The center of RIST 24(4):207~211
Chan-Kun Park / 2000 / Deposition of DLC film by using an FCVA system with a magnetic mirror and characterization of its material properties / The Korean institute of Electrical Engineers :1717~1719
Myung-Bok Lee / Introduction of Vacuum Surface Analysis Techniques / Du Yang Sa :23~46
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