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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
민경호 (한국폴리텍II대학 인천캠퍼스 기계시스템과) 송기혁 (인하대학교 기계공학과) 홍광표 (인하대학교 기계공학과)
저널정보
한국금형공학회 한국금형공학회지 한국금형공학회지 제11권 제2호
발행연도
2017.1
수록면
25 - 28 (4page)

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Semiconductor equipment manufacturers desire to enhance efficiency of Sub Fab to increase semiconductor productivity. For this reason, Sub Fab equipment manufacturers are developing Integrated System that combined modules with multiple facilities. Integrated System is required to apply Mount Leveler of Wedge Type in compliance with weight increase compared with existing single equipment and product shape change. This thesis analyzes main design variables of components of Wedge Mount Leveler and carries out structure analysis using ANSYS, finite element analysis program Analysis shows that main design variables of components of Wedge Mount Leveler has self-locking condition by friction force of Wedge and adjusting bolt. Each friction force hinges upon Wedge angle and Friction Coefficient of contact surface and upon the thread angle and Friction Coefficient of contact surface. Also, as a result of carrying out structure analysis of Wedge Mount Leveler, deflection and stress appears in different depending on the height of the level.

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