Progress in the co-evaporation technologies developed for high performance REBaCuO films and coated conductors

Lee, J.W.; Yoo, S.I.

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저자정보: Lee, J.W. (Department of Materials Science and Engineering, Research Institute of Advanced Materials [RIAM], Seoul National University) Yoo, S.I. (Department of Materials Science and Engineering, Research Institute of Advanced Materials [RIAM], Seoul National University)

저널정보: 한국초전도저온학회 한국초전도·저온공학회논문지 한국초전도·저온공학회논문지 제14권 제4호

발행연도: 2012.1

수록면: 5 - 11 (7page)

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In this review article, we focus on various co-evaporation technologies developed for the fabrication of high performance $REBa_2Cu_3O_{7-{\delta}}$ (RE: Y and Rare earth elements, REBCO) superconducting films. Compared with other manufacturing technologies for REBCO films such as sputtering, pulsed laser deposition (PLD), metal-organic deposition (MOD), and metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), the co-evaporation method has a strong advantage of higher deposition rate because metal sources can be used as precursor materials. After the first attempt to produce REBCO films by the co-evaporation method in 1987, various co-evaporation technologies for high performance REBCO films have been developed during last several decades. The key points of each co-evaporation technology are reviewed in this article, which enables us to have a good insight into a new high throughput process, called as a Reactive Co-Evaporation by Deposition and Reaction (RCE-DR).

#Co-evaporation technology #REBCO film #coated conductor #in-situ growth #ex-situ growth

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Lee, J.W.

소속기관 Department of Materials Science and Engineering, Research Institute of Advanced Materials [RIAM], Se

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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Yoo, S.I.

소속기관 Department of Materials Science and Engineering, Research Institute of Advanced Materials [RIAM], Se

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