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자료유형
학술저널
저자정보
Yun, Deok-Whan (Department of Advanced Materials Engineering, Kumoh National Institute of Technology) Park, Sung Bum (Department of Advanced Materials Engineering, Kumoh National Institute of Technology) Park, Yong-il (Department of Advanced Materials Engineering, Kumoh National Institute of Technology)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제29권 제5호
발행연도
2019.1
수록면
297 - 303 (7page)

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A triple-layered $PMMA/Ni_{64}Zr_{36}/PDMS$ hydrogen gas sensor using hydrogen permeable alloy and flexible polymer layers is fabricated through spin coating and DC-magnetron sputtering. PDMS(polydimethylsiloxane) is used as a flexible substrate and PMMA(polymethylmethacrylate) thin film is deposited onto the $Ni_{64}Zr_{36}$ alloy layer to give a high hydrogen-selectivity to the sensor. The measured hydrogen sensing ability and response time of the fabricated sensor at high hydrogen concentration of 99.9 % show a 20 % change in electrical resistance, which is superior to conventional Pd-based hydrogen sensors, which are difficult to use in high hydrogen concentration environments. At a hydrogen concentration of 5 %, the resistance of electricity is about 1.4 %, which is an electrical resistance similar to that of the $Pd_{77}Ag_{23}$ sensor. Despite using low cost $Ni_{64}Zr_{36}$ alloy as the main sensing element, performance similar to that of existing Pd sensors is obtained in a highly concentrated hydrogen atmosphere. By improving the sensitivity of the hydrogen detection through optimization including of the thickness of each layer and the composition of Ni-Zr alloy thin film, the proposed Ni-Zr-based hydrogen sensor can replace Pd-based hydrogen sensors.
#hydrogen sensor #flexible #Ni-Zr #PDMS #thin film

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L. A. Ruth / 2003 / Mater. High Temp 20:7 google schola D. S. Newsome / 1980 / Catal. Rev 21:275 google schola S. E. Nam / 1999 / J. Membr. Sci 153:163 google schola J. Li / 2018 / Mater. Lett 212:211 google schola W. L. Watkins / 2018 / Sens Actuators B Chem 273:527 google schola

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