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저자정보
Choi, Sujin (Department of Chemistry, Pukyong National University) Park, Juyun (Department of Chemistry, Pukyong National University) Jeong, Eunkang (Department of Chemistry, Pukyong National University) Kim, Beob Jun (Busan IL Science High School) Son, Seo Yoon (Busan IL Science High School) Lee, Jeong Min (Busan IL Science High School) Lee, Jin Seong (Busan IL Science High School) Jo, Hee Jin (Busan IL Science High School) Park, Jihun (Busan IL Science High School) Kang, Yong-Cheol (Department of Chemistry, Pukyong National University)
저널정보
조선대학교 기초과학연구원 조선자연과학논문집 조선자연과학논문집 제7권 제3호
발행연도
2014.1
수록면
183 - 187 (5page)

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Lead zirconate titanate (PZT) is significant material in electrical and optical devices for their ferroelectric, piezoelectric and dielectric properties. In this research, PZT films were fabricated by reactive RF co-sputtering method using Pb, Zr, and Ti targets. From XPS study, lead, zirconium, and titanium are successfully deposited on Si(100) substrate. Thickness of PZT films was measured with a surface profiler and the thickness was decreased as the oxygen gas ratio increased in the sputter gas.
#XPS #Lead Zirconate Titanate #Sputter #Ferroelectric

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