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저자정보
강동원 (연세대학교 기계공학과) 이진석 (삼성전기) 한재원 (연세대학교 기계공학과)
저널정보
정보저장시스템학회 정보저장시스템학회논문집 정보저장시스템학회논문집 제3권 제3호
발행연도
2007.1
수록면
135 - 138 (4page)

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Using a Shack-Hartmann sensor and sub-wavelength sized pinhole point source, we develope an optical testing system that measures the wavefront error of high numerical aperture and small sized optical components. The subwavelength sized pinhole generates perfect spherical waves with large diffraction angle and this makes possible to test high numerical aperture optics. The Shack-Hartmann sensor reconstructs the wavefront and calculates the aberrations. We make a home-made reference plane wave source which generates nearly perfect plane waves and the calibration with this plane source gives the overall uncertainty of the optical testing system 0.010 $\lambda$ rms.

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