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CMP 에서 패드 돌기와 디바이스 패턴의 접촉 모드에 따른 연마율 모델링
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
화학적기계연마 공정에서 연한 연마패드 표면 구조의 기계적 역할에 대한 고찰
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
CMP 에서 연마 패드의 접촉 조건에 따른 수학적 모델
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
마찰 온도가 연마 패드의 브레이크 인에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
텅스텐 CMP 공정 중 Pad Asperity 에 의한 열전달
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .05
CMP에서 패드의 미세돌기 변형을 고려한 연마율 모델링
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
3중 존 컨디셔너의 연마패드 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2020 .09
CMP 연마패드 프로파일 형상 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
화학기계적 연마에서 컨디셔너 직경에 따른 연마패드 마모 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
Planarization Modeling for Device Pattern with Geometric Characteristics of Pad Asperity
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2020 .08
컨디셔닝 공정에서 컨디셔너와 연마 패드의 속도비에 따른 CMP 연마 패드 형상 시뮬레이션
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
제어된 마이크로 패턴 표면 구조를 가지는 CMP 용 연마패드의 장시간 연마 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
패드 표면의 마이크로패턴 형상에 따른 화학적기계연마 재료제거율
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
Identification of the Break-In Mechanism by Asperity Deformation of CMP Pad
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2021 .02
Study on the Polishing Performance of CMP Pad Containing End-capping Polymer Structure
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2023 .10
랩그라인딩 공정에서의 연마율 모델
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
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