평판형 컷오프 프로브의 회로 모델링 연구

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저자정보: 염희중 (Korea Research Institute of Standards and Science) 유광호 (Korea Research Institute of Standards and Science) 김정형 (Korea Research Institute of Standards and Science) 성대진 (Korea Research Institute of Standards and Science) 유신재 (Chungnam National University) 이효창 (Korea Research Institute of Standards and Science)

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#circuit model #plasma diagnostics #coplanar capacitance

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