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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
안다훈 (공주대학교) 이학준 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제21권 제11호
발행연도
2020.11
수록면
554 - 560 (7page)

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평판 디스플레이 제조 공정에서 대상물의 위치 결정을 위해 고정밀 평면 모션 스테이지를 사용한다. 이 유형의 스테이지는 일반적으로 마찰이 없는 선형 모터와 에어 베어링을 사용하며, 고정밀 위치 센서로 레이저 간섭계를 사용한다. 스테이지의 불가피한 기생 운동에 의해 야기되는 요 모션 오차는 위치 결정 대상체의 향 변화를 의미하므로, 스테이지의 성능과 공정 정밀도 향상을 위해 요 모션 오차의 실시간 동적 보정은 매우 중요하다. 요 모션 오차 보상에는 갠트리제어가 일반적이며, 이 방법을 공기베어링 가이드를 사용하는 스테이지에 적용하기 위해서 회전 모션을 허용하는 유연기구가 스테이지에 적용된다. 본 논문은 공기베어링과 유연기구를 갖춘 H형 XY 스테이지의 정속 구동 성능을 개선하는 방법을 제안한다. 유연기구를 포함한 스테이지의 갠트리 제어 시 선형 모터로부터 발생하는 상호 리플의 발생 원인을 분석하고, 이러한 상호 리플을 보상하는 방안으로 적응 학습 제어를 제시한다. 제시 방안의 검증을 위해 시뮬레이션을 수행하여, 보상 제어를 통해 속도 리플이 약 22 % 수준으로 감소함을 확인하였다. 그리고 요 모션 오차가 발생하는 스테이지 상태를 가정하여 리플 저감 효과를 검증하였다.
#Air Bearing Stage #Compensation #Flexure #Gantry Control #Mutual Ripple #Yaw Motion

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
References

참고문헌 (14)

참고문헌 신청
W. Gao, Y. Arai, A. Shibuya, S. Kiyono, C. H. Park, “Measurement of multi-degree-of-freedom error motions of a precision linear air-bearing stage”, Precision Engineering , Vol.30, No.1, pp.96-103, 2006. https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2005.06.003 Crossref S. K. Ro, S. Kim, Y. Kwak, C. H. Park, “A linear air bearing stage with active magnetic preloads for ultraprecise straight motion”, Precision Engineering , Vol.34, No.1, pp. 186-194, 2010. https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2009.06.010 Crossref S. K. Ro, J. K. Park, “A compact ultra-precision air bearing stage with 3-DOF planar motions using electromagnetic motors”, International Journal of Precision Engineering and Manufacturing , Vol.12, pp. 115-119, 2011. https://doi.org/10.1007/s12541-011-0014-y Crossref T. Kondo, S. Fujisawa, N. Kitade, XY Table using a Linear Electromagnetic Actuator, U.S. Patent 5 760 500, Jun. 2, 1998. google schola W. T. Novak, “Dual Guide Beam Stage Mechanism with Yaw Control,” U.S. Patent 5 760 564, Jun. 2, 1998. google schola

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