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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
Yeon Jung Kim (Dankook University) Jaeduk Byun (Dankook University) June Won Hyun (Dankook University)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제54권 제1호
발행연도
2021.2
수록면
18 - 24 (7page)

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KNN is widely used in the electronic industry such as memory devices, sensors, and capacitors due to various structural, electrical, and eco-friendly properties. In this study, Mn-doped KNN was prepared by adopting a sol-gel method with advantages of low cost and large area thin film fabrication. The Mn-doped KNN thin films were deposited by annealing in air for 1 hour and 700° C. The surface morphology characteristics and grain size of the heat-treated KNN were observed by SEM and AFM, and we used the X-ray diffraction for measuring the crystal phase of KNN. The XRD analysis results show that the fabrication of (K<SUB>0.5</SUB>Na<SUB>0.5</SUB>)(Nb<SUB>1-x</SUB>Mn<SUB>x</SUB>)O₃ thin films by sol-gel method in the thin film process of this experiment was stable in the perovskite phase of c-axis orientation. The SEM and AFM results show that the cracks were not confirmed from the fracture surface data of KNN thin films and were densely deposited with thin films with uniform thickness.

목차

Abstract
1. Introduction
2. Experiment
3. Results and discussion
4. Conclusions
References

참고문헌 (26)

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