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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
홍성우 (한국생산기술연구원) 최홍균 (공주대학교)
저널정보
한국고분자학회 폴리머 폴리머 제45권 제2호
발행연도
2021.3
수록면
314 - 321 (8page)
DOI
10.7317/pk.2021.45.2.314

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블록공중합체를 이용한 저비용, 고효율 나노패턴 제조 기술은 다양한 분야에 활용성을 가지고 활발히 연구되고 있다. Polystyrenre-b-poly(2-vinyl pyridine)(PS-b-P2VP) 블록공중합체는 패턴 정렬의 용이성, 대면적 배향 가능, 금속 치환 가능 등의 장점으로 범용적으로 사용되는 블록공중합체이지만 유기물로만 구성되어 있기에 패턴 전사에 필요한 식각 선택도(etching selectivity)가 부족한 한계를 가지고 있다. 본 연구에서는 간단한 공정으로 carborane 화합물을 PS-b-P2VP의 P2VP 블록에 선택적으로 도입시킬 수 있는 방법을 제시하여 P2VP 블록의 식각 저항성을 크게 향상시킬 수 있음을 보였다. 이 연구 결과는 유기물로만 이루어진 대부분의 블록공중합체의 낮은 식각 선택도 문제를 극복하는데 중요한 단서를 제공해 줄 수 있을 것이며 향후 블록공중합체의 다양한 나노 패턴 주형으로서의 활용성을 더욱 넓힐 수 있을 것으로 기대한다.

목차

초록
Abstract
서론
실험
결과 및 토론
결론
참고문헌

참고문헌 (38)

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