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저자정보
Young Seok Lee (Chungnam National University) Sang Hyeop Oh (Korea Research Institute of Standards and Science) Jang Jae Lee (Chungnam National University) Chul Hee Cho (Chungnam National University) Si Jun Kim (Nanotech Optoelectronics Research Center) Shin Jae You (Chungnam National University)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.30 No.2
발행연도
2021.3
수록면
50 - 53 (4page)

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Quadrupole mass spectrometry (QMS) has been widely used in the semiconductor industry to monitor plasma radical or ion species, but the signal used in QMS is mostly not quantified. To quantify QMS signals to radical density measurements, the signals should be calibrated by a reference. During this calibrating process, it is important to apply a proper signal proportional coefficient between the signal of QMS and the particle density of the plasma, which is known to be strongly related to the mass of the particle, but is not precisely well known one until now. In this work, we propose a simple approach to obtain reliable signal proportional coefficients of different masses by using with standard gases, which are precisely specified components through gas manufacturing. This approach is expected to raise the reliability of quantifying QMS data, contributing to an advance in plasma database development.
#Quadrupole mass spectrometry #Plasma #Plasma diagnostics #Standard gas

목차

ABSTRACT
1. Introduction
2. Experimental details
3. Results and discussion
4. Conclusions
References

참고문헌 (22)

참고문헌 신청
I. Adamovich / 2017 / J. Phys. D : Appl. Phys 50:323001 google schola M. A. Lieberman / 2015 / Principles of Plasma Discharges and Materials Processing / John Wiley & Sons, Inc google schola V. M. Donnelly / 2013 / J. Vac. Sci. Technol. A 31:050825 google schola K. J. Kanarik / 2015 / J. Vac. Sci. Technol. A 33:020802 google schola G. S. Oehrlein / 2015 / ECS J. Solid State Sci. Tech-nol 4:N5041 google schola

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