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나영채 (Korea Polytechnic University) 김희웅 (Korea Polytechnic University) 이건우 (Korea Polytechnic University) 백승혜 (Korea Polytechnic University) 이성남 (Korea Polytechnic University)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
169 - 169 (1page)

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본 연구에서는 m 면 사파이어 기판 위에 MOCVD를 이용하여 증착 된 반분극 (11-22) GaN계 LED소자를 습식 식각 공정만을 이용하여 제작된 마이크로 실린더 구조 LED의 실린더 직경에 따른 전계발광 특성을 체계적으로 연구하였다. 마이크로 실린더 직경이 40㎛에서 10㎛로 감소됨에 따라 작동전압은 증가하였 ... 전체 초록 보기

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