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학술대회자료
저자정보
Sung Tae Yoo (Kyung Hee University) Kyu Chang Park (Kyung Hee University)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
228 - 228 (1page)

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Research on mercury-free light sources has been underway as mercury regulations have progressed due to environmental problems. Ultraviolet light emitting diodes (UV-LEDs) are one of the alternatives, but research in the UV region has major obstacles [1]. UV-LEDs require complex epitaxial growth processes, especially in the deep UV range, a major problem is the low efficiency due to the deep UV light absorption of AlGaN and the dislocation due to mismatch of epitaxial layers and substrate. Many studies are underway to overcome these issues and most promising technique is UV light generation using cold cathode electron beam (E-beam). Compared with UV-LEDs, E-beam has advantages [2]. E-beam pumping technology has simple structure and manufacturing procedure. UV light sources using E-beam are advantageous as areal light sources, and unlike UV-LEDs as point light sources, it can be manufactured as a large light source. As one of t ... 전체 초록 보기

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