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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김정덕 (한국교통대학교) 권기선 (SK하이닉) 임종국 (한국교통대학교) 양원백 (숭실사이버대학교)
저널정보
한국가스학회 한국가스학회지 한국가스학회지 제25권 제2호
발행연도
2021.4
수록면
42 - 51 (10page)

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2022

반도체용 특수가스 공급장치에서의 가스누출 유동해석과 피해대책에 관한 연구
김정덕 안전공학과 안전공학 전공 2022.01 학위논문

2021

반도체용 특수가스 공급장치 내부에서의 가스누출 원인에 따른 유동해석에 관한 연구
김정덕 ,  권기선 ,  임종국 외 1명 한국가스학회지 2021.04 학술저널

2020

반도체용 특수가스 공급을 위한 가스캐비닛 내부 유동해석에 관한 연구
김정덕 ,  한승아 ,  양원백 외 1명 한국가스학회지 2020.10 학술저널

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반도체 제조에 사용하는 특수가스를 공급하는 설비는 인화성·독성·부식성을 지닌 유해·위험물질을 주로 취급하는데, 이러한 공급설비로는 주로 가스캐비닛이 사용되고 있다. 가스캐비닛 내 파열판을 통한 누출, 누출 개구부의 확대가 가능한 누출, 누출 개구부가 확대되지 않는 누출의 케이스별로 공급장치 내부 상태 및 외부로의 확산 영향을 누출 원인별로 분석하였다. 이 경우 누출 단면적에 따라 공급장치 외부로 가스가 누출되는 경우가 발생함을 확인하였다. 외부로 누출되는 가스의 농도에 따라 폭발분위기 형성 등 위험성이 존재하는 요인으로 작용하며, 위험에 따라 공급설비의 안전운전절차 등 제반 조치사항을 다시 검토할 필요가 있음을 확인하였다.
#specialty gas #semiconductor #gas leak #gas cabinet #supply facilities

목차

요약
Abstract
I. 서론
II. 연구 배경 및 목적
III. 반도체용 특수가스 공급장치의 위험성
IV. 가스 누출시나리오 선정
V. 누출 Case별 해석 결과 및 고찰
VI. 결론
REFERENCES

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