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학술대회자료
저자정보
이승재 (성균관대학교) 조유진 (성균관대학교) 김태성 (성균관대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 열공학부문 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
322 - 322 (1page)

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2021

전기적 저압 임팩터를 이용한 Si 에피택시 챔버 내 입자 측정 연구
이승재 ,  조유진 ,  김태성 대한기계학회 춘추학술대회 2021.05 학술대회자료

2020

전기적 저압 임팩터를 이용한 에피택셜 챔버 내 입자 측정 및 분석
이승재 ,  김은미 ,  Vinit Kanade 외 4명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2020.06 학술대회자료

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반도체 증착 공정 챔버 내 기류 균일 분포를 위한 수치해석적 연구
이승재 ,  허동빈 ,  김태성 대한기계학회 춘추학술대회 2022 .11
전기적 저압 임팩터를 이용한 에피택셜 챔버 내 입자 측정 및 분석
이승재 ,  김은미 ,  Vinit Kanade 외 4명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2020 .06

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