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최지섭 (서울과학기술대학교) 박우태 (서울과학기술대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 2021년도 춘계학술대회
발행연도
2021.5
수록면
80 - 80 (1page)

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이 논문은 멤스 공정으로 제작된 질량변화에 따른 주파수 편이 기반의 미세 먼지센서를 소개합니다. 먼지센서특성을 정량적으로 분석하기 위해 테스트 입자로 마이크로 크기의 유리구슬이 사용되었으며 레이저 진동계로 먼지센서의 ... 전체 초록 보기
#Particle sensor(먼지센서) #MEMS(멤스) #Resonant frequency(공진주파수) #Frequency shifting(주파수편이)

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