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저자정보
황인용 (울산과학기술원) 김민균 (울산과학기술원) 유재연 (울산과학기술원) 이종원 (한국기계연구원(KIMM)) 정주연 (한국기계연구원(KIMM))
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 2021년도 춘계학술대회
발행연도
2021.5
수록면
150 - 150 (1page)

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Surface-enhanced Infrared Absorption (SEIRA) spectroscopy, which can amplify infrared fingerprint vibrations of analyte molecules through coupling with enhanced nearfields in engineered surfaces has received a lot of attention in recent years. Among the various SEIRA structures studied so far, the plasmonic metamaterial absorber (MA) based on the metal-insulator-metal (MIM) configuration has been proposed as a highly sensitive SEIRA platform due to the strong nearfield enhancement induced in the structure. However, the MIM absorbers accompanying the ultrathin spacer have been fundamentally limited due to the requirement of an appropriate spacer thickness of several tens of nanometers in Mid-IR range for high absorption and nearfield enhancement. To overcome these limitations, approaches forming nearfield hot spots in the in-plane direction has been reported using various types of plasmonic resonators such as fan-shaped, nano-slit, coaxial. Since most of these SEIRA structures utilize nearfield enhancement induced in the in-plane nanometer-sized gap, high-precision fabrication process such as an e-beam lithography is required, thus large-area patterning is limited and even costly. In this work, we propose an ultrasensitive SE ... 전체 초록 보기

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